ဤကိရိယာသည် ထိတွေ့မှုမရှိသော၊ အလင်းပြန်မှုအဆင့်ပြောင်းသည့် interferometric တိုင်းတာခြင်းနည်းလမ်းကို လက်ခံကျင့်သုံးသည်၊ တိုင်းတာမှုအတွင်း အလုပ်အပိုင်း၏မျက်နှာပြင်ကို မပျက်စီးစေဘဲ၊ အမျိုးမျိုးသော workpieces များ၏ မျက်နှာပြင်မိုက်ခရို-မြေမျက်နှာသွင်ပြင်၏ သုံးဖက်မြင်ဂရပ်ဖစ်ကို လျင်မြန်စွာ တိုင်းတာနိုင်ပြီး တိုင်းတာမှုကို ပိုင်းခြားစိတ်ဖြာပြီး တွက်ချက်နိုင်သည်။ ရလဒ်များ။
ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ
အင်္ဂါရပ်များ- အမျိုးမျိုးသော gauge blocks နှင့် optical အစိတ်အပိုင်းများ၏ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုကို တိုင်းတာရန်အတွက် သင့်လျော်သည်။ ပေတံနှင့် ဒိုင်ခွက်၏ အတိမ်အနက်၊ ဆန်ခါ groove တည်ဆောက်ပုံ၏အပေါ်ယံပိုင်းအထူနှင့် coating နယ်နိမိတ်၏ဖွဲ့စည်းပုံသဏ္ဍာန်; သံလိုက် (optical) disk ၏မျက်နှာပြင်နှင့်သံလိုက်ဦးခေါင်းဖွဲ့စည်းပုံတိုင်းတာခြင်း; ဆီလီကွန် wafer မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုနှင့် ပုံစံတည်ဆောက်ပုံ တိုင်းတာခြင်း စသည်တို့
တူရိယာ၏ မြင့်မားသော တိုင်းတာမှု တိကျမှုကြောင့်၊ ၎င်းသည် ထိတွေ့မှုမရှိသော နှင့် သုံးဖက်မြင် တိုင်းတာခြင်း၏ လက္ခဏာများ ရှိပြီး ကွန်ပျူတာ ထိန်းချုပ်မှုနှင့် တိုင်းတာမှုရလဒ်များကို လျင်မြန်စွာ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်းနှင့် တွက်ချက်ခြင်းကို လက်ခံပါသည်။ ဤကိရိယာသည် စမ်းသပ်ခြင်းနှင့် တိုင်းတာခြင်းဆိုင်ရာ သုတေသနယူနစ်များ၊ စက်မှုနှင့် သတ္တုတွင်းလုပ်ငန်း တိုင်းတာခြင်းအခန်းများ၊ တိကျစွာလုပ်ဆောင်ခြင်းဆိုင်ရာ အလုပ်ရုံဆွေးနွေးပွဲများ၊ အဆင့်မြင့်သင်ယူမှုနှင့် သိပ္ပံသုတေသနအဖွဲ့အစည်းများ၏ အင်စတီကျူးရှင်းများအတွက်လည်း သင့်လျော်ပါသည်။
ပင်မနည်းပညာဆိုင်ရာဘောင်များ
မျက်နှာပြင် အဏုကြည့်မညီညာမှု အတိမ်အနက်ကို တိုင်းတာခြင်း။
ဆက်တိုက်မျက်နှာပြင်တွင်၊ ကပ်လျက်ပစ်ဇယ်နှစ်ခုကြားရှိ လှိုင်းအလျား 1/4 ထက်ကြီးသော အမြင့်ရုတ်တရက်ပြောင်းလဲမှုမရှိသောအခါ- 1000-1nm
ကပ်လျက်ပစ်ဇယ်နှစ်ခုကြားရှိ လှိုင်းအလျား၏ 1/4 ထက်ကြီးသော အမြင့်ပြောင်းလဲမှုရှိသောအခါ- 130-1nm
ထပ်တလဲလဲ တိုင်းတာခြင်း- δRa ≤0.5nm
Objective Lens ချဲ့ခြင်း- 40X
ဂဏန်း အလင်းဝင်ပေါက်- Φ 65
အလုပ်အကွာအဝေး: 0.5mm
ကိရိယာအကွက် မြင်ကွင်း Visual: Φ0.25mm
ဓာတ်ပုံ- 0.13×0.13mm
တူရိယာ ချဲ့ထွင်မှု Visual- 500×
ဓာတ်ပုံ (ကွန်ပြူတာစခရင်ဖြင့်)-2500×
လက်ခံသူအတိုင်းအတာ ခင်းကျင်း- 1000X1000
Pixel အရွယ်အစား- 5.2×5.2µm
တိုင်းတာချိန်နမူနာ (စကင်န်ဖတ်ခြင်း) အချိန်- 1S
တူရိယာစံမှန် ရောင်ပြန်ဟပ်မှု (မြင့်မားသည်): ~ 50%
အလင်းပြန်မှု (နိမ့်): ~4%
အလင်းရောင်အရင်းအမြစ်- အလင်းအိမ် 6V 5W
အစိမ်းရောင်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှု စစ်ထုတ်မှု လှိုင်းအလျား- λ≒530nm
တစ်ဝက်အကျယ် λ≒10nm
ပင်မအဏုကြည့်လွှတ်မှု- 110 မီလီမီတာ
စားပွဲတင်ဓာတ်လှေကား: 5 မီလီမီတာ
X နှင့် Y ဦးတည်ရွေ့လျားမှုအတိုင်းအတာ- ~10 မီလီမီတာ
အလုပ်စားပွဲ၏ အလှည့်အပြောင်းအကွာအဝေး- 360°
အလုပ်စားပွဲ၏ စောင်းအကွာအဝေး- ±6°
ကွန်ပျူတာစနစ်- P4၊ 2.8G သို့မဟုတ် ထို့ထက်ပိုသော၊ 1G သို့မဟုတ် ထို့ထက်ပိုသော မမ်မိုရီပါသည့် 17-လက်မ မျက်နှာပြင်ပြား